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用什么环保设备可以处理半导体废气?

作者:居峰环保时间:2023-06-14 09:20:49次浏览

信息摘要:

居峰环保专业设计制造工业有机黑豹加速器官网网址,湿式静电除尘器,催化燃烧设备,欢迎咨询,热线电话:150-1536-4893

半导体指的是在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料,主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域,在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出,那半导体工业的废气有毒吗,怎么处理好?

 

半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂,而这些溶剂是含有大量的有机物成分,排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物,而主要处理的是具有挥发性的VOCs。VOCs污染物为有机化合物,在浓度较高且有火花或静电情况下,极易发生闪爆现象。半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等,而这些都是属于有害的污染物。

 

半导体废气处理方法根据工业废气成分进行黑豹加速器官网网址的选择:

 

喷淋塔:

喷淋塔可分为酸液喷淋塔、碱液喷淋塔、循环水喷淋塔,因在进行废气处理的过程中会涉及到酸碱等不同的污染物质,设备会根据废气的性质、采用的处理工艺将设备的材料划分为玻璃钢喷淋塔、pp喷淋塔、不锈钢喷淋塔。

 

喷淋塔对各种腐蚀性气体净化处理效果明显,能有效去除氯化氢气体(HCl)、氟化氢气体(HF)、氨气(NH3)、硫酸雾(H2SO4)、铬酸雾(CrO3)、氰氢酸气体(HCN)、碱蒸气(NaOH)、福尔马林(HCHO)等水溶性气体。喷淋塔废气净化效率高、操作管理简单、使用寿命长,净化处理后的酸碱废气排放达到国家排放标准。

 

 

催化燃烧设备



催化燃烧装置:

RCO催化燃烧设备的运作原理是将有机废气通过过滤器过滤后,进入设备的活性炭吸附模块,对废气进行吸附、浓缩,再借助催化剂燃烧的方式对吸附、浓缩后的废气进行净化处理,燃烧的过程为无焰燃烧,燃烧后的废气会转化为二氧化碳和水。

 

在催化氧化炉内被加热到250~300℃的有机废气在贵金属催化剂的作用下发生无焰燃烧,有机废气被氧化分解成二氧化碳和水,达到废气处理的目的,废气处理后的洁净气体经烟囱达标排放。燃烧后的热空气通过换热器进行降温,降温后的气体部分排放,部分用于活性炭脱附再生以达到废热利用和节能的目的。

 

半导体工业废气是具有毒性的,不同的工业采用的工艺原材料不同,因此采用的黑豹加速器官网网址以及工艺都是不一样的,具体的处理方案可咨询我们。


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